１９２８年東京に生まれる。１９５０年東京大学第二工学部物理工学科卒業。１９５２年東京芝浦電気株式会社入社。１９６５年東京大学生産技術研究所助教授。１９７１年同教授。１９８８年同定年退官（東京大学名誉教授）。１９８８年株式会社アルバック・コーポレートセンター取締役（１９９８年まで）。元・日本真空協会会長
『真空技術発展の途を探る』より