１９９１年早稲田大学理工学部応用化学科卒業。１９９６年東京工業大学大学院博士課程修了、博士（工学）。１９９６年ペンシルバニア州立大学研究員。１９９８年通商産業省工業技術院電子技術総合研究所研究員。２００１年独立行政法人産業技術総合研究所研究員。２００３年同研究所主任研究員。２００７年同研究所太陽光発電研究センター研究チーム長。２００８年国立大学法人岐阜大学工学部教授。同大学未来型太陽光発電システム...
『分光エリプソメトリー』より

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