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1968年東京工業大学工学部金属工学科卒業。1974年東京工業大学大学院博士課程修了(金属工学専攻)、工学博士。東京工業大学精密工学研究所助手。1987年東京工業大学精密工学研究所教授。1993年東京工業大学精密工学研究所教授。2010年東京工業大学名誉教授。立命館大学客員教授。2015年立命館大学上席客員研究員(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです) 『小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 μmからnm寸法のものをつくるための材料、物性、形状、機能の評価法』より
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