液浸リソグラフィのプロセスと材料エレクトロニクスシリーズ

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基本情報

ジャンル

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建築・理工

ISBN/カタログNo

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ISBN 13 : 9784781305509
ISBN 10 : 4781305504

フォーマット

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本

出版社

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シーエムシー出版

発行年月

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2012年08月

発売国

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日本

追加情報

２４３ｐ　２６ｃｍ（Ｂ５）

内容詳細

目次 : 液浸リソグラフィーとは/ 液浸露光用塗布現像装置/ レチクル技術/ 液浸リソグラフィの光学系/ 液浸露光装置の開発/ 液浸用レジストの開発/ 液浸用トップコート材料/ 液浸レジスト材料の評価/ 含フッ素樹脂のリソグラフィ分野への応用/ 偏光照明技術/ 高ＮＡ投影レンズの開発/ 次世代液浸露光用高屈折率液体の開発/ 次世代液浸リソグラフィの光学系/ ３２ｎｍハーフピッチに向けた今後のリソグラフィ展開

【著者紹介】
東木達彦 : （株）東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター半導体プロセス開発第二部リソグラフィ技術開発第三担当グループ長（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

（「BOOK」データベースより）