日本半導体製造装置協会

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半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会

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基本情報

ジャンル
：
建築・理工
ISBN/カタログNo
：
ISBN 13 : 9784526057403
ISBN 10 : 4526057401
フォーマット
：
本
出版社
：
日刊工業新聞社
発行年月
：
2006年09月
発売国
：
日本
追加情報
:
２１ｃｍ,５６４ｐ

内容詳細

目次 : 第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成/ 第２章　設計工程用語/ 第３章　マスク製作工程用語/ 第４章　ウェーハ製造工程用語/ 第５章　ウェーハプロセス工程用語/ 第６章　組立工程用語/ 第７章　検査工程用語/ 第８章　設備・環境工程用語/ 資料

（「BOOK」データベースより）

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