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基本情報
内容詳細
目次 : プロローグ 研磨加工の流れは技能重視から技術化へ/ 第１章 研磨加工の特徴/ 第２章 研磨装置の基本構成/ 第３章 研磨理論の基礎/ 第４章 研磨運動の解析/ 第５章 研磨圧力の解析/ 第６章 シミュレーションに必要なパラメータの特性測定/ 第７章 各種研磨方式のシミュレーションに対する検証
【著者紹介】
宇根篤暢 : １９７１年大阪大学大学院工学研究科精密工学専攻。修士課程修了。１９７１〜８３年日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所。１９８３〜８５年日本電信電話公社厚木研究開発センター。１９８５〜９３年ＮＴＴ ＬＳＩ研究所主幹研究員・グループリーダ。１９９３〜９６年ＮＴＴアドバンステクノロジに出向。１９９６〜現在、防衛大学校教授
河西敏雄 : １９６０年山梨大学工学部機械工学科卒業。１９６３〜６８年山梨大学工学部助手・講師。１９６８〜８２年日本電信電話公社武蔵野および茨城電気通信研究所。１９８２〜９８年埼玉大学工学部助教授・教授。１９９８〜０２年埼玉大学大学院理工学研究科教授。２００２〜現在、埼玉大学名誉教授。２００２〜０７年東京電機大学工学部特別選任教授。２００７〜現在、（株）河西研磨技術特別研究室代表取締役（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
（「BOOK」データベースより）
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