RF　MEMS技術の応用展開 CMCテクニカルライブラリー

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基本情報

ジャンル

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建築・理工

ISBN/カタログNo

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ISBN 13 : 9784781304960
ISBN 10 : 4781304966

フォーマット

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本

出版社

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シーエムシー出版

発行年月

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2012年02月

発売国

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日本

追加情報

２２４ｐ　２１ｃｍ（Ａ５）

内容詳細

目次 : １　総論（ＭＥＭＳ技術の概要/ ＲＦ　ＭＥＭＳ技術の概要）/ ２　プロセス技術（プロセス基盤技術/ ＲＦ　ＭＥＭＳのプロセス技術　ほか）/ ３　設計技術（ＭＥＭＳ構造体の力学的設計技術/ ＭＥＭＳ構造体のＲＦ設計技術）/ ４　デバイス技術（単結晶シリコンメンブレン型スイッチ/ 線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ　ほか）/ ５　応用技術（６０ＧＨｚ帯送・受信フロントエンドモジュール/ 高効率デュアルバンド増幅器　ほか）

（「BOOK」データベースより）