図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み製造装置の全体を俯瞰する How‐nual　Visual　Guide　Book

レビューを書く

基本情報

ジャンル

：

建築・理工

ISBN/カタログNo

：

ISBN 13 : 9784798026107
ISBN 10 : 4798026107

フォーマット

：

本

出版社

：

秀和システム新社

発行年月

：

2010年05月

発売国

：

日本

追加情報

２１ｃｍ,２３１ｐ

内容詳細

半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置まで、豊富なイラストで解説した入門書。現場で使われている用語も交え、現場に近い視点で解説。「図解入門よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」姉妹編。

【著者紹介】
佐藤淳一 : 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。現在はナノフロント研究所代表として半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。応用物理学会員（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

（「BOOK」データベースより）