豊田浩一

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Euv光源の開発と応用

豊田浩一

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Product Details

Genre
：
Architecture&Engineering
ISBN/Catalogue Number
：
ISBN 13 : 9784882316664
ISBN 10 : 4882316668
Format
：
Books
Publisher
：
シーエムシー出版
Release Date
：
February/2007
Release Country
：
Japan
Co-Writer, Translator, Featured Individuals/organizations
:
岡崎信次 ,  

Content Description

目次 : 第１編　ＥＵＶ光源の開発（露光装置とＥＵＶリソグラフィ/ ＥＵＶリソグラフィ用光源プラズマ/ プラズマ励起用高出力固体レーザー開発の現状/ 究極の変換効率の超微粒子広域分散型ターゲットレーザー生成プラズマＸ線源　ほか）/ 第２編　ＥＵＶリソグラフィ用のマスクとレジスト技術（Ｘ線多層膜の物理/ ＥＵＶ用反射型マスク基板/ ＥＵＶ用マスク/ ＥＵＶレジストの特異性と反応機構　ほか）

【著者紹介】
豊田浩一 : 技術研究組合極端紫外線露光システム技術開発機構顧問、（独）理化学研究所名誉研究員

岡崎信次 : 技術研究組合超先端電子技術開発機構ＥＵＶプロセス技術研究部部長（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

（「BOOK」データベースより）

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