Product Details
ISBN/Catalogue Number
:
ISBN 13 : 9784274201349
ISBN 10 : 4274201341
ISBN 10 : 4274201341
Format
:
Books
Release Date
:
October/2005
Content Description
センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらに化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説した教科書。近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応。
【著者紹介】
藤田博之 : 1980年東京大学大学院電気工学専門課程博士課程修了。1980年工学博士。現在、東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター長教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
(「BOOK」データベースより)
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