藤原裕之

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分光エリプソメトリ-

藤原裕之

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Product Details

Genre
：
Sciences&Physics
ISBN/Catalogue Number
：
ISBN 13 : 9784621072530
ISBN 10 : 4621072536
Format
：
Books
Publisher
：
丸善出版サービスセンター
Release Date
：
June/2003
Release Country
：
Japan

Content Description

分光エリプソメトリーの急速な利用拡大を踏まえ、その理解に必要な基礎、および具体的な測定法・解析法についてわかりやすく解説。評価材料も半導体からバイオ材料まで取り入れ、広範な分野で利用できる入門書。

【著者紹介】
藤原裕之 : １９９１年早稲田大学理工学部応用化学科卒業。１９９６年東京工業大学大学院電子化学専攻博士課程修了。１９９６〜１９９８年ペンシルバニア州立大学研究員。１９９８〜２００１年電子技術総合研究所任期付研究員。現在、産業技術総合研究所研究員（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

（「BOOK」データベースより）

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