肥後矢吉

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小さなものをつくるためのナノ / サブミクロン評価法

肥後矢吉

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Product Details

Genre
：
Architecture&Engineering
ISBN/Catalogue Number
：
ISBN 13 : 9784339046434
ISBN 10 : 4339046434
Format
：
Books
Publisher
：
コロナ社
Release Date
：
June/2015
Release Country
：
Japan
Co-Writer, Translator, Featured Individuals/organizations
:
谷川紘 ,  

Content Description

目次 : １　シミュレーション/ ２　薄膜の弾性定数の精密計測法/ ３　微小材料や薄膜の材料強度評価法/ ４　３次元マイクロ構造体の形状計測法および信頼性評価/ ５　動特性計測：微細なものの動的変形と振動評価/ ６　微細なものの接着・接合強度評価

【著者紹介】
肥後矢吉 : １９６８年東京工業大学工学部金属工学科卒業。１９７４年東京工業大学大学院博士課程修了（金属工学専攻）、工学博士。東京工業大学精密工学研究所助手。１９８７年東京工業大学精密工学研究所教授。１９９３年東京工業大学精密工学研究所教授。２０１０年東京工業大学名誉教授。立命館大学客員教授。２０１５年立命館大学上席客員研究員（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

（「BOOK」データベースより）

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