東木達彦

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液浸リソグラフィのプロセスと材料 エレクトロニクスシリーズ 普及版

東木達彦

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Product Details

Genre
：
Architecture&Engineering
ISBN/Catalogue Number
：
ISBN 13 : 9784781305509
ISBN 10 : 4781305504
Format
：
Books
Publisher
：
シーエムシー出版
Release Date
：
August/2012
Release Country
：
Japan

Content Description

目次 : 液浸リソグラフィーとは/ 液浸露光用塗布現像装置/ レチクル技術/ 液浸リソグラフィの光学系/ 液浸露光装置の開発/ 液浸用レジストの開発/ 液浸用トップコート材料/ 液浸レジスト材料の評価/ 含フッ素樹脂のリソグラフィ分野への応用/ 偏光照明技術/ 高ＮＡ投影レンズの開発/ 次世代液浸露光用高屈折率液体の開発/ 次世代液浸リソグラフィの光学系/ ３２ｎｍハーフピッチに向けた今後のリソグラフィ展開

【著者紹介】
東木達彦 : （株）東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター半導体プロセス開発第二部リソグラフィ技術開発第三担当グループ長（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

（「BOOK」データベースより）

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