小林春洋

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絵とき「放電技術」基礎のきそ

小林春洋

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Product Details

Genre
：
Architecture&Engineering
ISBN/Catalogue Number
：
ISBN 13 : 9784526058653
ISBN 10 : 4526058653
Format
：
Books
Publisher
：
日刊工業新聞社
Release Date
：
August/2007
Release Country
：
Japan

Content Description

ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。

目次 : 第１章　放電・プラズマの概要（放電・プラズマとは/ 高度情報化社会を支える放電技術　ほか）/ 第２章　物質の構成要素と気体（物質の最小微粒子/ 電子の３つの顔　ほか）/ 第３章　放電プラズマの基礎（電子と分子の衝突/ 放電開始　ほか）/ 第４章　放電プラズマ直接応用（スパッタ薄膜/ プラズマＣＶＤ　ほか）/ 第５章　プラズマ・プロセス応用（垂直磁気記録/ 超ＬＳＩ　ほか）

【著者紹介】
小林春洋 : 大正１４年福島県に生まれる。昭和２４年東北大学電気工学科卒業、東北大学工学部大学院特別研究生。昭和３１年東北大学工学部助教授、日本電気株式会社。昭和３３年工学博士（東北大学）。昭和４８年日電バリアン（株）（現キヤノンアネルバ（株））。昭和６０年（株）トーキン。昭和６３年同退職。１９７１〜１９８９東京都立大学工学部電気工学科非常勤講師。１９９１〜２００２東京電機大学工学部電子工学科非常勤講師。１９９２〜１９９５中央大学理工学部兼任講師（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

（「BOOK」データベースより）

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