大和田邦樹

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Rf Mems技術の応用展開 Cmc Tl 普及版

大和田邦樹

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Product Details

Genre
：
Architecture&Engineering
ISBN/Catalogue Number
：
ISBN 13 : 9784781304960
ISBN 10 : 4781304966
Format
：
Books
Publisher
：
シーエムシー出版
Release Date
：
February/2012
Release Country
：
Japan

Content Description

目次 : １　総論（ＭＥＭＳ技術の概要/ ＲＦ　ＭＥＭＳ技術の概要）/ ２　プロセス技術（プロセス基盤技術/ ＲＦ　ＭＥＭＳのプロセス技術　ほか）/ ３　設計技術（ＭＥＭＳ構造体の力学的設計技術/ ＭＥＭＳ構造体のＲＦ設計技術）/ ４　デバイス技術（単結晶シリコンメンブレン型スイッチ/ 線路駆動型スイッチとメタルカンチレバー型スイッチ　ほか）/ ５　応用技術（６０ＧＨｚ帯送・受信フロントエンドモジュール/ 高効率デュアルバンド増幅器　ほか）

（「BOOK」データベースより）

Customer Reviews

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