佐藤淳一

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図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する技術力の真髄

佐藤淳一

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Product Details

Genre
：
Architecture&Engineering
ISBN/Catalogue Number
：
ISBN 13 : 9784798026107
ISBN 10 : 4798026107
Format
：
Books
Publisher
：
秀和システム新社
Release Date
：
May/2010
Release Country
：
Japan

Content Description

半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置まで、豊富なイラストで解説した入門書。現場で使われている用語も交え、現場に近い視点で解説。「図解入門よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」姉妹編。

【著者紹介】
佐藤淳一 : 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。現在はナノフロント研究所代表として半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。応用物理学会員（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

（「BOOK」データベースより）

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