プラズマ・核融合学会

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プラズマプロセス技術 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

プラズマ・核融合学会

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Product Details

Genre
：
Architecture&Engineering
ISBN/Catalogue Number
：
ISBN 13 : 9784627775619
ISBN 10 : 462777561X
Format
：
Books
Publisher
：
森北出版
Release Date
：
January/2017
Release Country
：
Japan
Co-Writer, Translator, Featured Individuals/organizations
:
プラズマ核融合学会 ,  

Content Description

最先端のプラズマ応用技術を解説！基礎理論から各種の応用事例、計測・評価技術まで。

目次 : 第１章　プラズマ技術の基礎/ 第２章　プラズマナノプロセスの物理的基礎/ 第３章　プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎/ 第４章　ナノエッチング技術/ 第５章　ナノ材料の基板成長と構造制御/ 第６章　ナノ粒子の気相合成/ 第７章　計測技術とプロセス解析

（「BOOK」データベースより）

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