ナノ加工技術ハンドブック編集委員会

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ナノ加工技術ハンドブック

ナノ加工技術ハンドブック編集委員会

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Product Details

Genre
：
Architecture&Engineering
ISBN/Catalogue Number
：
ISBN 13 : 9784909933973
ISBN 10 : 4909933972
Format
：
Books
Publisher
：
大阪公立大学出版会
Release Date
：
November/2025
Release Country
：
Japan
Co-Writer, Translator, Featured Individuals/organizations
:
ナノ加工技術ハンドブック編集委員会 ,  

Content Description

目次 : １章　微細加工技術（半導体リソグラフィ/ 原子層無損傷プラズマエッチング技術/ レーザ加工/ レジスト材料と感光機構）/ ２章　ナノ加工の基礎（プロセス科学と装置）（電子・イオンビームと固体との相互作用/ 電子ビーム照射のチャージアップ現象/ ビーム励起表面反応/ 電子ビーム描画装置/ 集束イオンビーム装置）/ ３章　ナノ構造形成技術（電子ビーム描画技術/ 集束イオンビーム技術/ ナノインプリント技術/ 走査プローブ顕微鏡によるナノ加工/ 自己組織化/ ガスクラスターイオンビーム（ＧＣＩＢ）技術/ 近接場リソグラフィ）/ ４章　ナノ構造評価・計測（走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）/ 透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）/ 測長ＳＥＭ（ＣＤ−ＳＥＭ）/ ヘリウムイオン顕微鏡/ 走査プローブ顕微鏡（ＳＰＭ））/ ５章　ナノ加工のデバイス応用（単電子トランジスタ/ グラフェンデバイス/ フォトニック結晶デバイス/ プラズモニックスデバイス/ ナノメカニカルデバイス/ バイオナノデバイス/ バイオミメティクスデバイス）

（「BOOK」データベースより）

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