表面技術協会

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ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

表面技術協会

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Product Details

Genre
：
Architecture&Engineering
ISBN/Catalogue Number
：
ISBN 13 : 9784339046311
ISBN 10 : 4339046310
Format
：
Books
Publisher
：
コロナ社
Release Date
：
April/2013
Release Country
：
Japan

Content Description

目次 : １　ドライプロセスとプラズマ（表面処理/ ドライプロセスと真空　ほか）/ ２　真空およびプラズマ（真空/ プラズマ　ほか）/ ３　ドライプロセスによる表面処理と薄膜形成（真空蒸着/ イオンプレーティング　ほか）/ ４　分析と評価（膜厚測定/ 表面分析　ほか）

（「BOOK」データベースより）

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  • takajisanta

    読了日：2014/05/29

    薄膜処理技術の概論

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