篠田和典

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半導体製造におけるエッチング技術 エレクトロニクス

篠田和典

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Product Details

Genre
：
Architecture&Engineering
ISBN/Catalogue Number
：
ISBN 13 : 9784781318721
ISBN 10 : 478131872X
Format
：
Books
Publisher
：
シーエムシー出版
Release Date
：
August/2025
Release Country
：
Japan

Content Description

半導体製造で用いられるエッチングに焦点を当て、プラズマエッチング、ウェットエッチング、プラズマダメージ、シミュレーション、原子層エッチング、金属アシストエッチング等、基礎から最新技術までを纏めた一冊。

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