これからのmems Lsiとの融合

ＭＥＭＳはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、ＭＥＭＳの今後の開発促進や有効利用をＭＥＭＳ研究の世界的権威が解説する待望の一冊。「はじめてのＭＥＭＳ」続編。

目次 : 第１章　ヘテロ集積化（ＭＥＭＳとＬＳＩの融合）/ 第２章　次世代携帯機器/ 第３章　センサネットワーク・高機能センサ/ 第４章　光マイクロシステム/ 第５章　バイオ・医療用マイクロシステム/ 第６章　製造・検査装置/ 第７章　高度化と有効活用への道

【著者紹介】
江刺正喜 : １９４９年宮城県に生まれる。１９７６年東北大学大学院博士課程（電子工学専攻）修了。東北大学・助手。１９８１年東北大学・助教授。１９９０年東北大学・教授（精密工学科）。２００７年東北大学原子分子材料科学高等研究機構・教授、（兼）マイクロシステム融合研究開発センター（μＳＩＣ）・センター長（２０１０年）、革新的イノベーション研究機構（ＣＯＩ）リサーチフェロー（２０１５年）。工学博士

小野崇人 : １９６７年北海道生まれ。１９９６年東北大学大学院博士課程（精密工学）修了。東北大学・助手。２０００年東北大学・助教授。２００９年東北大学大学院工学研究科・教授（機械システムデザイン工学専攻）、（兼）マイクロシステム融合研究開発センター（μＳＩＣ）・副センター長（２０１０年）。工学博士（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）