電気機器の静電気対策 設計技術シリーズ

【目次】

第１章　帯電・静電気放電の基礎

１．はじめに
２．静電気基礎現象
２−１　電荷とクーロン力
２−２　分極力
３．帯電現象（含む静電気放電）
３−１　帯電現象の概要
３−２　電荷分離
３−３　現実の帯電
３−４　背向電極の重要性
４．静電気測定
４−１　電荷量の測定
４−２　電位測定
４−３　電界測定
４−４　電流測定
４−５　高抵抗測定
４−６　表面電位分布計測
４−７　究極の電荷測定
５．電荷挙動解析
５−１　TSDC
５−２　レーザ圧力波法による空間電荷分布測定
６．静電気放電
７．まとめ
第２章　電子デバイスの静電気対策の動向と静電気学会での取り組み

１．はじめに
２．ESD/EOS Symposium for Factory Issues 概要
３．シンポジウム
３−１　業界別講演者
３−２　講演技術内容
４．ESD/EOS Symposium for Factory Issues トピックス
４−１　電子デバイスの静電気対策
４−２　静電気対策技術
４−３　EMI/EOS問題
５．ワークショップ
６．展示会
７．今後の日本での取り組み
７−１　静電気学会静電気電子デバイス研究委員会の目的・内容
７−２　活動状況
８．まとめ
第３章　静電気放電と電子デバイスの破壊現象

１．はじめに
２．磁気デバイスの静電気破壊の特徴
３．GND放電と浮遊物体間放電
３−１　GND放電のモデル
３−２　浮遊物体間の放電モデル
４．容量間の放電実験
４−１　２物体の容量と電流波形
４−２　２物体容量と電流ピーク値の関係
４−３　２物体容量と放電エネルギーの関係
５．接触抵抗と変化要因
６．物体の容量変化と電位
７．デバイスの静電気破壊モデル
第４章　静電気対策技術としてのイオナイザの選定とその使用方法

１．静電気放電の発生と防止対策について
２．イオナイザの分類
３．コロナ放電型・電圧印加方式イオナイザ
３−１　電圧方式の分類
３−２　無風・微風時の除電能力
３−３　除電対象物の電位変動
３−４　送風時の除電能力
３−５　除電性能の経時変化とメンテナンスについて
３−６　イオナイザの選定
４．イオナイザの設置方法について
５．まとめ
第５章　半導体デバイスの静電気放電対策

１．はじめに
２．放電現象の概要
２−１　放電の発生条件
２−１−１　等電位である異なる直径の２つの導体球の放電開始電界強度
２−１−２　電極間距離が異なる平行平板電極間の放電開始電圧
２−１−３　放電電極形状が異なる場合
２−１−４　物体表面の最大電荷密度
２−１−５　パッシェン則について
２−２　放電エネルギーWについて
２−２−１　火花放電の放電エネルギー
２−２−２　火花放電以外の放電エネルギー
２−３　静電気放電の種類と概要
２−３−１　火花放電：金属−金属間放電
２−３−２　コロナ放電：電界が強い尖端近傍の局所放電
２−３−３　ブラシ放電：曲率が小さい導体から絶縁物へのストリーマが進展した放電
２−３−４　沿面放電：背面設置体がある帯電物体と曲率が小さい導体間の放電
２−３−５　雷状放電：空間電荷雲内で発生する放電
２−３−６　コーン放電：堆積した粉体表面を走る放電
２−３−７　剥離放電
３．デバイスの静電気放電対策
３−１　放電現象からのデバイスの破壊現象について
３−２　基本的な静電気放電対策の考え方
３−２−１　静電気の緩和現象
３−３　その他の静電気放電防止の留意点
４．まとめ
第６章　新しい静電気表面電位測定技術とその応用例

１．はじめに
２．静電気測定器
２−１　ファラデーケージ
２−２　トナー帯電量測定装置（Q/mメーター）
２−３　任意の粉体の帯電量測定装置
２−４　静電電圧計
２−５　静電電界計
２−６　表面電位計
２−７　超高入力インピーダンス回路を有する表面電位計（Ultra Hi-Z ESVM）
２−７−１　Ultra Hi-Z ESVM応用例1-宇宙空間で衛星の帯電測定
２−７−２　Ultra Hi-Z ESVM応用例2-半導体ウエハの帯電測定
２−８　静電気力顕微鏡（Electrostatic Force Microscope）
３．まとめ
第７章　液晶パネル及び半導体デバイス製造における静電気対策

１．はじめに
２．半導体デバイス等の清浄な製造環境における静電気障害
２−１　浮遊微粒子汚染
２−２　静電破壊
３．清浄環境における静電気対策の方法
３−１　シースエア式低発塵イオナイザー（コロナ放電式）
３−２　イオン化気流放出型イオナイザー（微弱X線照射式）
３−２−１　液晶カセット用イオン化気流放出型イオナイザー
３−２−２　チャンバー型無発塵イオナイザー
３−２−３　静電気対策用層流吹出口
３−２−４　防爆型無発塵イオナイザー
４．おわりに
第８章　帯電した人体からの静電気放電で発生する放電電流

１．はじめに
２．放電開始ギャップ長と放電電流波形
２−１　放電開始ギャップ長
２−２　放電開始電界強度の分布
２−３　放電電流波形形状の出現傾向
２−４　放電開始ギャップ長と放電電流波形形状
３．初回の放電で放出される電荷量
４．人体の静電容量による影響
４−１　人体の静電容量
４−２　静電容量による影響
５．指先の皮膚抵抗による影響
６．人体の接近速度による影響
７．放電先の電極形状による影響
７−１　人体の指先からの放電
７−２　人体が握った金属からの放電
７−３　放電極性による傾向の違い

【著者紹介】
水野彰 : 豊橋技術科学大学環境・生命工学系。１９７８年東京大学大学院工学系研究科博士課程修了。その後石川島播磨重工業（株）を経て豊橋技術科学大学講師、現在教授。専門は静電気応用工学。静電気学会（会長）、電気学会、応用物理学会、ＩＥＥＥなど（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）