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走査電子顕微鏡 第2版 表面分析技術選書

日本表面真空学会

Product Details

Genre
ISBN/Catalogue Number
ISBN 13 : 9784621312278
ISBN 10 : 4621312278
Format
Books
Publisher
Release Date
December/2025
Japan

Content Description

走査電子顕微鏡(SEM)は,電子線で試料表面を走査することで,試料表面形状だけではなく,試料の元素組成や結晶方位,化学結合状態など,さまざまな情報を得られる手法であり,多様な試料の観察・分析に広く用いられている.
 本書はSEMの基礎的・理論的な解説から,多様な試料の種類ごとに試料の調整法や観察手法を実例とともに解説.
さらに発展的なデータの機械学習による解析や自動化についても扱う.

SEMの初心者からさまざまな分野での応用を検討している上級者まで,必携の一冊.

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