前田和夫

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はじめての半導体製造装置 現場の即戦力

前田和夫

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Product Details

Genre
：
Architecture&Engineering
ISBN/Catalogue Number
：
ISBN 13 : 9784774147505
ISBN 10 : 4774147508
Format
：
Books
Publisher
：
技術評論社
Release Date
：
August/2011
Release Country
：
Japan

Content Description

目次 : ０章　半導体製造装置という世界/ １章　半導体デバイスの製造工程/ ２章　半導体製造装置の技術史/ ３章　半導体製造装置の種類と役割/ ４章　半導体製造装置の構成と方式/ ５章　各種半導体製造装置の概要/ ６章　半導体製造装置の現場/ ７章　半導体製造装置の技術要素/ ８章　半導体製造装置技術のロードマップ/ ９章　２１世紀の半導体製造装置―半導体製造装置進化論

【著者紹介】
前田和夫 : １９５９年横浜国立大学工学部化学工学科卒業。１９５９〜１９７８年富士通（株）勤務。１９７７年東京大学より工学博士号授与。１９７８〜１９８２年パイオニア（株）勤務。１９７９年米国ＳＥＭＩ（半導体装置材料協会）よりＳＥＭＭＹ賞授与。１９８２〜１９８８年アプライドマテリアルジャパン（株）勤務。１９８８年（株）半導体プロセス研究所設立。２００８年９月逝去（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

（「BOOK」データベースより）

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