佐藤淳一

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図解入門よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み リソグラフィ技術の核心に迫る

佐藤淳一

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Product Details

Genre
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Architecture&Engineering
ISBN/Catalogue Number
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ISBN 13 : 9784798030630
ISBN 10 : 4798030635
Format
：
Books
Publisher
：
秀和システム新社
Release Date
：
October/2011
Release Country
：
Japan

Content Description

半導体チップの微細回路を生み出すキーテクノロジー「リソグラフィ」技術をわかりやすく解説した入門書。プロセスフローを例にして、基礎から発展までの技術が豊富なイラストで手に取るようにわかる。

【著者紹介】
佐藤淳一 : 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。現在はナノフロント研究所代表として半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。応用物理学会員（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

（「BOOK」データベースより）

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