Product Details
ISBN/Catalogue Number
:
ISBN 13 : 9784798060378
ISBN 10 : 4798060372
ISBN 10 : 4798060372
Format
:
Books
Release Date
:
December/2019
Content Description
製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる!
目次 : 第1章 半導体製造装置を取り巻く現状/ 第2章 半導体製造装置をファブから理解する/ 第3章 洗浄・乾燥装置/ 第4章 イオン注入装置/ 第5章 熱処理装置/ 第6章 リソグラフィー装置/ 第7章 エッチング装置/ 第8章 成膜装置/ 第9章 平坦化(CMP)装置/ 第10章 検査・測定・解析装置/ 第11章 後工程装置
【著者紹介】
佐藤淳一 : 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。1978年、東京電気化学工業(株)(現TDK)入社。1982年、ソニー(株)入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ(セリート)創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
(「BOOK」データベースより)
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