プラズマ・核融合学会

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プラズマプロセス技術 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

プラズマ・核融合学会

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基本情報

ジャンル
：
建築・理工
ISBN/カタログNo
：
ISBN 13 : 9784627775619
ISBN 10 : 462777561X
フォーマット
：
本
出版社
：
森北出版
発行年月
：
2017年01月
発売国
：
日本
共著・訳者・掲載人物など
:
プラズマ核融合学会 ,  
追加情報
:
２８８ｐ；22

内容詳細

最先端のプラズマ応用技術を解説！基礎理論から各種の応用事例、計測・評価技術まで。

目次 : 第１章　プラズマ技術の基礎/ 第２章　プラズマナノプロセスの物理的基礎/ 第３章　プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎/ 第４章　ナノエッチング技術/ 第５章　ナノ材料の基板成長と構造制御/ 第６章　ナノ粒子の気相合成/ 第７章　計測技術とプロセス解析

（「BOOK」データベースより）

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