藤原裕之

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本

分光エリプソメトリー

藤原裕之

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基本情報

ジャンル
：
物理・科学・医学
ISBN/カタログNo
：
ISBN 13 : 9784621072530
ISBN 10 : 4621072536
フォーマット
：
本
出版社
：
丸善出版㈱
発行年月
：
2003年06月
発売国
：
日本
追加情報
:
２１ｃｍ,２５１ｐ

内容詳細

分光エリプソメトリーの急速な利用拡大を踏まえ、その理解に必要な基礎、および具体的な測定法・解析法についてわかりやすく解説。評価材料も半導体からバイオ材料まで取り入れ、広範な分野で利用できる入門書。

【著者紹介】
藤原裕之 : １９９１年早稲田大学理工学部応用化学科卒業。１９９６年東京工業大学大学院電子化学専攻博士課程修了。１９９６～１９９８年ペンシルバニア州立大学研究員。１９９８～２００１年電子技術総合研究所任期付研究員。現在、産業技術総合研究所研究員（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

（「BOOK」データベースより）

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藤原裕之

１９９１年早稲田大学理工学部応用化学科卒業。１９９６年東京工業大学大学院博士課程修了、博士（工学）。１９９６年ペンシルバニア州立大学研究員。１９９８年通商産業省工業技術院電子技術総合研究所研究員。２００１年独立行政法人産業技術総合研究所研究員。２００３年同研究所主任研究員。２００７年同研究所太陽光発

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