ナノ・マイクロスケール機械工学

目次 : 第１章　ナノ・マイクロスケールの現象/ 第２章　ナノ・マイクロスケールの基礎理論/ 第３章　ナノ・マイクロスケールの現象のための新しい方法論/ 第４章　ナノ・マイクロファブリケーション/ 第５章　ナノ・マイクロデバイスの設計理論/ 第６章　応用事例

【著者紹介】
石原直 : １９４８年生まれ。１９７３年、東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻修士課程修了。１９７３年、日本電信電話公社（現ＮＴＴ）電気通信研究所入社。主任研究員。ＭＩＴ客員研究員（１９８１〜１９８２年）、ＬＳＩ研究所主幹研究員、加工技術研究部長、物性科学基礎研究所長などを歴任。Ｘ線リソグラフィ技術の研究開発、ナノテクノロジーの研究推進などに従事。１９９２年、工学博士（東京大学）。２００５年より東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻教授

加藤千幸 : １９５９年生まれ。１９８４年、東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻修士課程修了。１９８４年株式会社日立製作所機械研究所入社。１９９５年、博士（工学）（東京大学）。１９９９年東京大学生産技術研究所助教授。２００３年、東京大学生産技術研究所教授。生産技術研究所計算科学技術連携研究センター長、革新的シミュレーション研究センター長、などを歴任。大規模なシミュレーションソフトウェアの研究や流れから発生する騒音の予測や制御などに関する研究を推進

光石衛 : １９５６年生まれ。１９７９年東京大学理学部物理学科を卒業。工学部に学士入学。１９８６年同大学院博士課程修了、工学博士（東京大学）。東京大学工学部講師、助教授を経て、１９９９年より産業機械工学専攻教授。バイオメディカルロボティクス（特に、コンピュータ統合手術支援システム）、生産工学（特に、バイオマニュファクチャリング、センサ統合型知能化生産システム）等の研究に従事

渡邉聡 : １９６１年生まれ。１９８９年東京大学大学院理学系研究科博士課程修了、理学博士。新技術事業団（現科学技術振興機構）青野原子制御表面プロジェクト研究員、（株）日立製作所基礎研究所嘱託研究員を経て、１９９７年東京大学大学院工学系研究科材料学専攻助教授。２００４年東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻教授。原子・電子レベルのシミュレーションを用いたナノ構造物性の研究に従事（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）