ウェーハ表面完全性の創成・評価技術

津屋英樹

基本情報

ジャンル
ISBN/カタログNo
ISBN 13 : 9784916164148
ISBN 10 : 4916164148
フォーマット
発行年月
1998年03月
日本
追加情報
:
269p;31

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人物・団体紹介

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津屋英樹

昭和13年9月北海道旭川市生まれ。昭和37年3月東京大学理学部物理学科卒業。昭和37年4月日本電気(株)入社中央研究所配属。平成元年4月同社超LSI開発本部長。平成3年7月同社研究開発グループ主席研究員。平成7年6月住友シチックス(株)取締役、研究開発センター長。平成10年10月住友金属工業(株)技

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