基本情報
内容詳細
SEMの開発にかかわり撮影指導をしてきた著者が、数多の失敗も含めた長年の蓄積を元に、どうすれば目的に適う画像が得られるのか、そのコツを豊富な具体例とともにあますことなく伝授する。鉱物から金属材料、生体材料まで、SEMを使い始めた人や、ある程度慣れてはきたがいま一つ自身が持てない人、指導する立場でより確かなノウハウを身につけたい人も、本書を手に、ワンランク上のSEMユーザーを目指そう!
目次 : 1章 SEMってどんな装置?(SEMとは?/ SEM「あるある」劇場 ほか)/ 2章 SEMの構成と操作のポイント(SEMのしくみ/ 電子線照射で起こる現象とSEM像 ほか)/ 3章 元素分析の基本とポイント(X線発生のメカニズムと元素分析の基礎/ SEMに付属する元素分析装置 ほか)/ 4章 試料作製の基本とポイント(なぜ、試料作製が必要か?/ 正しい試料の固定法 ほか)/ 5章 もっとSEMを使いこなすために(SEM「あるある」劇場の反省会/ あるあるを乗り越えて ほか)
【著者紹介】
鈴木俊明 : 1957年神奈川県生まれ。2019年東京電機大学非常勤講師、研究員。日本材料科学会講演事業企画委員会委員長。専門、電子顕微鏡の応用。博士(工学)
本橋光也 : 1961年埼玉県生まれ。1991年東京電機大学工学研究科電気工学専攻博士課程修了。東京電機大学助手、講師、助教授を経て現在、教授。日本材料科学会会長。専門、半導体工学、表面科学、ナノテクノロジー。工学博士(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
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