１９５９年横浜国立大学工学部化学工学科卒業。１９５９〜１９７８年富士通（株）勤務。１９７７年東京大学より工学博士号授与。１９７８〜１９８２年パイオニア（株）勤務。１９７９年米国ＳＥＭＩ（半導体装置材料協会）よりＳＥＭＭＹ賞授与。１９８２〜１９８８年アプライドマテリアルジャパン（株）勤務。１９８８年（株）半導体プロセス研究所設立。２００８年９月逝去（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
『はじめての半導体プロセス 現場の即戦力』より